• 专利基本信息
  • 实用 2023202756709 一种晶圆取放装置 2023

    已下证 半导体晶圆取料 1人

    H01L21/687

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    • 09-03

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    • 专利摘要

    本实用新型涉及半导体晶圆取料技术领域,尤其是指一种晶圆取放装置,其包括弹簧钢片和两个呈正对设置的手持柄,两个所述手持柄分别可拆卸连接于所述弹簧钢片的两端,所述手持柄的下端设置有夹持臂,两个所述夹持臂相互正对的一侧设置有软垫。本实用新型通过弹簧钢片的两端与两个手持柄连接,使得两个夹持臂之间在夹持产品时力度均匀,不会因为作业人员力度而改变,人工操作方便、简单,可以减少人员取放晶圆掉落风险,有利于提高生产效率;其中,在软垫的作用下,避免对晶圆造成磨损,结构可靠;可以调节夹持臂之间的间距,可以适用于不同尺寸的产品,使用灵活,结构新颖。

    • 专利生命周期
    专利申请:2023-02-20
    授权缴费截止日:2025-03-20
    专利授权日:2023-07-21 00:00:00.0
    最近更新时间:2024-10-16