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发明 2017105514819 角度补偿式激光外差干涉位移测量装置及方法

已下证 2人

G01B11/02 G01B11/26 G01B9/02061 G01B9/02056

发明 2020103968306 锁至动态边带的可变合成波长绝对距离测量装置与方法

已下证 2人

G01B11/02 G01B9/02

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